MF5619气体质量流量计
气体质量流量计
ＭＦ５６１９
SIARGO MEMS FLOW SENSING PRODUCTS
使用说明书
气体质量流量计ＭＦ５６１９
气体质量流量计ＭＦ５６１９
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气体质量流量计ＭＦ５６１９
一、概述
气体质量流量计是广州纹徕仪器仪表有限公司结合ＭＥＭＳＭＦ５６１９
流量传感器芯片推出的一款高精度测量气体质量的流量计，具有多种不同信号输出的特点。
该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成稳定的的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。 ＭＦ５６００流量计芯片上的传感器将测量这一变化并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。质量流量或总流量。下图为该系列流量计的原理框图。
产品特点
采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术，传感器的尺寸
缩小到了微米量级，使该流量计的灵敏度大大提高。
在单个芯片上实现了多传感器集成，使该流量计的量程比（范围度）大大提高。传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有极大的改善。
结合二次仪表的微电脑智能技术，使流量计重复性好，实现了计量准确可靠。
技术进步带来的结构简化，使流量计较之传统的机械式仪表，压力损失大幅度减小，极大地降低了能源消耗。
采用LCD显示瞬时流量和累积流量，清晰直观，读数方便。
流量计标配有RS485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理。流量计选配有4~20mA标准电流信号输出和脉冲输出。光洁的不锈钢管体,适用于氧气测量。
满足EMC电磁兼容要求，具有较高的抗干扰能力。可根据需求采用分体显示或一体显示。
二、产品分类形式及选型说明
选型方式按照如下规则确定：
MF
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气体介质（A-空气，C-二氧化碳，N-氮气，O-氧气，R-氩气； 其它气体请与厂商联系。）显示（D-带LCD显示，N-不带LCD显示）
输出（A-4~20mA，B-RS485，D-脉冲；可选B，AB，BD，ABD）
通径（管道内径，单位为mm；5612-12mm，5619-19mm）
* 最大流量的单位为SLPM，比如200代表最大流量为200SLPM；
对二氧化碳，MF5612最大流量可选200，不可选300；MF5619最大流量可选600，不可选800。
机械接口
流量范围
SLPM
NCMH
（表2-1）产品型号及规格表