现代微电子技术的发展
21世纪的微电子技术
Microelectronics technology of the 21st century 摘要: 本文对２１ 世纪微电子技术的发展趋势作了一个展望。本文认为２１ 世纪初的微电子技术仍将以硅基 Ｃ Ｍ Ｏ Ｓ 电路为主流工艺，但将突破目前所谓的物理“限制”，继续快速发展；集成电路将逐步发展成为集成系统；微电子技术将与其他技术结合形成一系列新的增长点，例如微机电系统（ Ｍ Ｅ Ｍ Ｓ） 、 Ｄ Ｎ Ａ 芯片等将得到突飞猛进的发展。具体地，超微细光刻技术、虚拟工厂技术、铜互连及低κ互连绝缘介质、高κ栅绝缘介质、 Ｓ Ｏ Ｉ 技术等将在近几年内得到快速发展。２１ 世纪将是我国微电子产业的黄金时代 。
Abstract:In this paper, the trend of the development of microelectronics technology in the 21st century made a prospect. This paper argues that at the beginning of the 21st century microelectronics will remain with silicon-based C M O S circuit
technology for the mainstream, but will break the current so-called physical "limit", continue to rapid development; Will gradually develop into a integrated system of integrated
circuits;Microelectronics technology will form A series of new growth point, combining with other technologies such as microelectromechanical
systems (M E M S), D N A chips will be development by leaps and bounds. Specifically, ultra micro lithography technology, virtual plant technology, copper interconnection and low kappa
interconnection predominate insulating medium, high kappa gate dielectric predominate, S O I technology will be rapid development in recent years. The 21st century will be the golden age of microelectronic industry in China..
关键词：微电子技术； 集成系统； 微光机电系统； DNA 芯片。
Keywords: Microelectronics technology;Integrated system;Light mechanical and electrical
systems;DNA chips.
目前, 我们正处在一场跨越时空的新的信息网络革命中, 特别是九十年代出现的信息高速公路, 它将比 历史上的任何一次技术革命对社会经济、政治、文化等带来的冲击更为巨大, 它将改变人们的生产方式、生活方式、工作方式以及治理国
家的方式。作为高科技代表的微电子科学技术和工业对中国及世界经济都有着举足轻重的地位。
参考文献： 《面向21世纪的微电子》北京大学微电子研究所! 北京100871中国科学院院士； 北京大学微电子研究所! 博士、教授； 北京100871；