精密加工和超精密加工技术综述
中国机械工程CHINA MECHANICAL ENGINEERING1999年 第10卷 第5期 Vol
CHINA MECHANICAL ENGINEERING
1999年 第10卷 第5期 Vol.10 No.5 1999
精密加工和超精密加工技术综述
王先逵 吴丹 刘成颖
摘要 论述了精密加工和超精密加工技术的范畴、加工方法、系统结构及其在先进制造技术中的作用和地位;分析了21世纪初期对它的需求和技术发展趋势,并提出了相应的技术发展前沿,归总了技术发展特点。
关键词 精密加工 超精密加工 先进制造技术 机械制造
中国图书资料分类法分类号 TH16
Review of Precision and Ultra-precision Machining Technology
Wang Xiankui(Tsinghua University,Beijing,China) Wu Dan Liu Chengying p 570-576
Abstract:In this paper the range, machining method and system structure of the precision and ultra-precision
machining technology, and the action and position in advanced manufacturing technology are discussed,its requirement in the early 21 century is analysed,the interrelated front technology development is advanced and the feature of
technology developed is induced.
Key words:precision machining ultraprecision machining AMT machinery manufacturing
收稿日期:1998—12—07 从先进制造技术的实质而论,主要有精密加工技术和超精密加工技术、制造自动化两大领域[1]:前者包括精密加工、超精密加工、微细加工及纳米加工,它追求加工上的精度和表面质量的极限,可统称为精密工程;后者包括设计、制造和管理的自动化,它不仅是快速响应市场需求、提高生产率、改善劳动条件的重要手段,而且是保证产品质量、提高和稳定加工质量的有效举措。两者有密切联系,许多精密加工和超精密加工要靠自动化技术才能达到预期目标,而不少制造自动化有赖于精密加工才能得以准确实现。精密工程和制造自动化具有全局性的、决定性的作用,是先进制造技术的支柱。 1 精密加工和超精密加工的技术内涵
通常按加工精度划分,可将机械加工分为一般加工、精密加工、超精密加工。由于生产技术的不断发展,划分的界限将随着历史进程而逐渐向前推移,过去的精密加工对今天来说已经是普通加工,因此,其划分的界限是相对的,并且在具体数值上至今没有固定的界说。
1.1 精密加工和超精密加工的范畴
当前,精密加工是指加工精度为1 μm~0.1 μm、表面粗糙度为0.1 μm~0.025 μm的加工技术;超精密加工是指加工精度高于0.1 μm、表面粗糙度小于0.025 μm的加工技术。因此,超精密加工又称之为亚微米级加工。超精密加工已进入纳米级精度阶段,故出现了纳米加工及其相应的纳米技术。
从精密加工和超精密加工的范畴来看,它应该包括微细加工、超微细加工、光整加工、精整加工等加工技术。
微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术,超微细加工技术是指制造超微小尺寸零件的加工技术,它们是针对集成电路的制造要求提出的,由于尺寸微小,其精度是用尺寸额绝对值来表示,而不是像一般尺寸那样,用所加工尺寸与尺寸误差的比值来表示。
光整加工一般是指降低表面粗糙度和提高表面层力学机械性质的加工方法,不着重于加工精度的提高,其典型加工方法有珩磨、研磨、超精加工及无屑加工等。实际上,这些加工方法不仅能提高表面质量,而且可以提高加工精度。精整加工是近年来提出的一个新的名词术语,它与光整加工是对应的,是指既要降低表面粗糙度和提高表面层力学机械性质,同时又要提高加工精度的加工方法,可弥补光整加工的不足。
1.2 精密加工和超精密加工方法
根据加工方法的机理和特点,精密加工和超精密加工方法可以分为去除加工、结合加工和变形加工3大类,见表1。
中国机械工程CHINA MECHANICAL ENGINEERING1999年 第10卷 第5期 Vol
去除加工是从工件上去除一部分材料。结合加工是利用理化方法将不同材料结合在一起,又分为附着(Deposition)、注入(Injection)和连接(Join-ted)3种。附着加工是在工件表面上覆盖一层物质,是一种弱结合,典型的加工方法是镀;注入加工是在工件表面注入某些元素,使之与基体材料产生物化反应,是具有共价键、离子键、金属键的强结合,用以改变工件表层材料的力学机械性质;连接加工是将两种相同或不同材料通过
表1 精密加工和超精密加工
分类
去除加工
(分离加工)加工机理电物理加工 电化学加工 力学加工、力溅射
热蒸发、热扩散、热溶解
附着加工
(沉积加工)
结合加工化学 电化学 热、热熔化 力物理化学
电化学
热、热扩散
力物理
热物理、电物理
化学主要加工方法示例电火花加工(电火花成形、电火花线切割) 电解加工、蚀刻(电子束曝光)、化学机械抛光 切削、磨削、研磨、抛光、珩磨、超声波加工、离子溅射加工、等离子加工、喷射加工 电子束加工、激光加工、脱碳处理、气割 化学镀、化学气相沉积 电镀、电铸 真空蒸镀、熔化镀 离子镀(离子沉积)、物理气相沉积氧化、氮化、活性化学反应 阳极氧化 晶体生长、分子束外延、掺杂、渗碳、烧结 离子束外延、离子注入激光焊接、气焊、电焊、快速成形加工 化学粘接
锻造、热流动加工(气体火焰、高频电流、热射线、电子束、激光)
铸造、液体流动加工(金属、塑料等压铸、注塑)
液晶定向注入加工 (渗入加工)连接加工变形加工 (流动加工)热流动、表面热流动 粘滞流动
分子定向
物化方法连接在一起。变形加工是利用力、热、分子运动等手段使工件产生变形,改变其尺寸、形状和性能。
从材料在加工过程中的流动来分析,去除加工是使材料逐渐减少,一部分材料变为切屑,这种流动称之为分散流;结合加工是使材料逐渐增加,这种流动称之为汇合流;变形加工是使材料基本不变,这种流动称之为直通流。近年来,提出了电铸、晶体生长、分子束外延、快速成形等加工方法,突破了传统加工概念,特别是快速成形加工是一种利用离散/堆积成形技术的分层制造,是一种接合法。
从加工方法的机理、特点和传统来分类,精密加工和超精密加工又可分为传统加工、非传统加工和复合加工。传统加工是指刀具切削加工、固结磨料和游离磨料的磨削加工;非传统加工是指利用电能、磁能、声能、光能、化学能、核能等对材料进行加工和处理;复合加工是采用多种加工方法的复合作用,进行优势互补,相辅相成。当前,在制造业中,占主要地位的仍是传统加工方法,而非传统加工和复合加工是其重要的发展方向。
精密加工和超精密加工的范畴还包括微细加工和超微细加工、精整加工和光整加工:它们的加工方法大多相同,只是加工的技术要求、侧重点、目标相异而已,例如研磨加工在精密加工中要求达到高精度和高表面质量,在微细加工中要求加工微细尺寸,在光整加工中主要要求低表面粗糙度,在精整加工中则同时强调了精度与表面质量。 2 精密加工和超精密加工的体系结构
2.1 精密加工系统工程
精密加工和超精密加工的发展已从单纯的技术方法形成制造系统工程,简称精密工程,其系统的体系结构见图1。它以人、技术、组织为基础,涉及超微量去除、结合、变形加工技术
图1 精密加工系统工程体系结构
,高稳定性和高净化的加工环境、检测与误差补偿,工况监测与质量控制,被加工材料等。
精密工程是一个制造系统[2],其系统由物质分系统、信息分系统、能量分系统构成。它与普通制造系统有许多相同的共性技术、基础和关键问题,但在精度上要高得多。
精密工程的技术难度大、产品要求高、投资很大,除基础共性技术外,产品个性比较突出,其实施大多靠产品投资支持,因此,以产品为核心更为重要。
2.2 影响精密加工和超精密加工的因素
影响精密加工和超精密加工的因素很多[3],现择主要因素论述如下。
2.2.1 加工机理
近年来,新工艺、新加工方法不断出现,应充分注意寻求新的加工手段。在传统加工方法中,金刚石刀具超精密切削、金刚石微粉砂轮超精密磨削、精密高速切削、精密砂带磨削等已占有重要地位;在非传统加工中,出现了电子束、离子束、激光束等高能束加工、微波加工、超声加工、蚀刻、电火花、电化学加工等多种方法;特别是复合加工,如磁性研磨、磁流体抛光、电解研磨、超声珩磨等,都是在加工机理上有所创新。
在加工机理上的突破还表现在明确提出了去除加工、结合加工和变形加工,特别是以快速成形制造为代表的“堆积”加工的出现,在加工技术上具有里程碑意义。
2.2.2 被加工材料
精密加工和超精密加工应该用相应的材料,对其化学成分、物理力学性能、加工性均有严格要求:应该质地均匀,性能稳定,无外部及内部微观缺陷。其化学成分的误差应在10-2~10-3数量级,不能含有杂质。其物理力学性能,如拉伸强度、硬度、延伸率、弹性模量、热导率、膨胀系数等应达到10-5~10-6数量级。冶炼、铸造、辗轧、热处理等工艺过程中,应严格控制熔渣过滤、辗轧方向、温度等,使材质纯净、晶粒大小匀称、无方向性,并能满足物理、化学、力学等性能上的要求。
2.2.3 加工设备及其基础元部件
对精密加工和超精密加工所用的加工设备应有以下一些要求:
(1)高精度 包括高的静精度和动精度,主要的性能指标有几何精度、定位精度和重复定位精度、分辨率等。
(2)高刚度 包括高的静刚度和动刚度,除本身刚度外,还应注意接触刚度,同时应考虑由工件、机床、刀具、夹具所组成的工艺系统刚度。
(3)高稳定性 设备在经运输、存储以后,在规定的工作环境下,在使用过程中应能长时间保持精度、抗干扰、稳定工作。因此,设备应有良好的耐磨性、抗振性等。
(4)高自动化 为了保证加工质量,减少人为因素影响,加工设备多用数控系统实现自动化。
由于加工设备的质量与基础元部件密切相关,所以应注意基础元部件的质量。
2.2.4 加工工具
主要是指刀具、磨具及刃磨技术。对于金刚石刀具超精密切削,值得研究的问题有金刚石刀具的超精密刃磨,使其刃口钝圆半径达到2 nm~4 nm,同时应解决其检测方法,刃口钝圆半径与切削厚度关系密
切,若极薄切削的厚度欲达10 nm,则刃口钝圆半径应为2 nm。在切削时其精确对刀是非常重要的,它直接
影响加工精度、表面粗糙度和加工效率。
对于磨具当前主要是金刚石微粉砂轮超精密磨削,这种砂轮有磨料粒度、粘接剂、修整等问题,通常采用粒度为W20~W0.5的微粉金刚石,粘接剂采用树脂、铜、纤维铸铁等。由于微粉砂轮易堵塞,故使用中要采用在线修整,一般金刚石砂轮的修整分为整形和修锐2个阶段,常用的修整方法有电解法、电火花法和软弹性修整法等。
2.2.5 检测与误差补偿
精密加工和超精密加工必须具备相应的检测技术和手段,不仅要对工件和表面质量进行检验,而且要检验加工设备和基础元部件的精度。
高精度的尺寸、形位可用电子测微仪、电感测微仪、电容测微仪、自准直仪、激光干涉仪等来测量。表面粗糙度可用电感式、压电晶体式表面形貌仪等进行接触测量,或用光纤法、电容法、超声微波法、隧道显微镜法进行非接触测量;表面应力、表面变质层深度、表面微裂纹等缺陷可用X光衍射法、激光干涉法等来测量。
误差预防和误差补偿是提高加工精度的重要措施。误差预防是通过提高机床制造精度、保证加工环境的条件等来减少误差源或减小误差的影响;误差补偿是在误差分离的基础上,利用误差补偿装置对误差值进行静态补偿和动态补偿,以消除误差本身的影响。静态误差补偿是根据事先测出的误差值,在加工时通过硬件或软件进行补偿;动态误差补偿是在在线检测的基础上,在加工时进行实时补偿。
2.2.6 工作环境
精密加工和超精密加工的工作环境是达到其加工质量的必要条件,主要有温度、湿度、净化和防振等方面的要求。
环境温度可根据加工要求控制在±1℃~±0.02℃,甚至达到±0.0005℃。达到恒温的办法可采用多层套间逐步得到大恒温间、小恒温间,再采用局部恒温的方法,如恒温罩,罩内还可用恒温液喷淋,达到更精确的控制温度。
在恒温室内,一般湿度应保持在55%~60%,以防止机器的锈蚀,石材膨胀,以及一些仪器(如激光干涉仪)的零点漂移等。
净化主要是为了避免空气中的尘埃影响:尘埃可能会在加工时划伤被加工表面。通常洁净度要求10 000级至100级(100级是指每立方英尺空气中所含大于0.5 μm的尘埃不超过100个)。由于大面积的超净间造价很高,且达到高洁净度的难度很大,因此出现了超净工作台、超净工作腔等局部超净环境,采用通入正压洁净空气以防止腔外不洁净的空气进入,保证洁净度。为了防止工作人员的衣服、肤发的影响,要穿戴专门的工作服,并要通过风淋室进行洁净。
精密加工和超精密加工设备要安放在带防振沟和隔振器的防振地基上,并可使用空气弹簧(垫)来隔离低频振动。 3 精密加工和超精密加工的地位和作用
3.1 超精密加工是国家制造技术水平的重要标志之一
超精密加工所能达到的精度、表面粗糙度、加工尺寸范围和几何形状是一个国家制造技术水平的重要标志之一。例如,金刚石刀具切削刃钝圆半径的大小是金刚石刀具超精密切削的一个关键技术参数,日本声称已达到2 nm。美国加利福尼亚大学Lawrence Livemore实验室和Y-12工厂在能源部支持下,1983年联合研制成功DTM-3型大型超精密金刚石车床,用于加工激光核聚变用的各种反射镜、大型天体望远镜的天线
等。该机床主轴采用液体静压径向轴承、空气静压止推轴承,主轴刚度大于500 N/μm;X向导轨采用V形—平面强迫液体润滑结构,Z向导轨采用平面空气静压方式;采用温度控制可达20℃±0.0005℃,流量为1.5 m3/min的恒温液体喷淋,采用6.4 m×6.4 m×1.5 m的花岗岩底座,并用空气垫隔振,以减少外界振动的影响;该机床的加工精度:半径尺寸为28 nm,圆度和平面度为12.5 nm,表面粗糙度为4.2 nm;加工零件的最大尺寸:直径为2100 mm,重量为4500 kg。
美国Lawrence Livemore实验室和空军Wright航空研究所等单位合作,国防部高级研究计划局(DARPA)投资1300万美元,于1984年研制成功LODTM大型超精密金刚石非球面车床,用于加工大型金属反射镜。采用高分辨率(0.7 nm)的双频激光测量系统,进行在线测量和误差补偿;机床内各发热部分采用油温控制可达20℃±0.0005℃的大量恒温液体冷却;机床采用4个空气垫支承在大地基上,其中有2个空气垫是连通的,故实际是三点定位,但支承刚度增强。该机床主轴回转精度高于0.051 μm,定位误差小于0.051 μm,激光测量系统综合误差远小于0.0025 μm;加工零件的最大尺寸(直径×长度)为1625 mm×500 mm,重量为1360 kg。这2台超精密机床被世界上公认为精度最高、技术水平最高的大型金刚石超精密车床,极具代表性[3]。
3.2 精密加工和超精密加工是先进制造技术的重要支柱
当前,在制造自动化领域,进行了大量有关计算机辅助技术软件(CAX-CAD、CAPP、CAM等)开发、计算机集成制造(CIM)技术、生产模式(如精良生产、敏捷制造、虚拟制造等),以及清洁生产和
绿色制造等研究,代表了当前制造技术的一个重要方面。但是这绝非高新制造技术的全部,作为制造技术的主战场,作为真实产品的实际制造,仍然要靠精密加工和超精密加工技术。例如,计算机工业的发展不仅要在软件上,更要在硬件上有所突破,即在集成电路芯片的制作上应有很高水平。应该说,我国当前集成电路的制造水平约束了计算机工业的发展。美国制造工程研究者提出的汽车制造业的“2 mm工程”使汽车质量赶上欧、日水平,其中的举措都是实实在在的精密制造技术。
3.3 精密加工和超精密加工是提高制造技术水平的关键
日本被公认为世界上制造技术水平最高的国家,许多创新构思来自美国,但日本能够将它们变为现实,成为产品。日本提出了“技术立国”和“新技术立国”的策略,大力发展制造技术产业,以精密加工技术为龙头,建立了世界上最广泛最活跃的学术团体——精密加工学会。由于抓了精密加工,使制造技术立足于实处、难点和高层次,因此使加工制造的水平处于世界先进行列。美国和德国都是世界上制造技术方面的强国,他们的特色也都表现在精密加工方面,能够制造出其它国家不能提供的精密产品。我国近年来在计算机辅助设计与制造、计算机集成制造技术等软件方面的研究有了长足进步,但在一些涉及高水平制造技术的硬件方面则不能满足市场需求,如航天工业、航空工业所需要的超精密加工设备、微电子工业所需要的一些集成电路超精密加工设备等都有赖于进口;大多数制造厂的加工技术水平都不够高,精密机床、数控机床及其数控系统、高速加工中心、虚拟轴机床,以及高速主轴单元、直线进给伺服单元、高速高精度的光栅检测装置等都未能在世界市场上占有一席之地;在科研院所和高等院校中,有
重“软”轻“硬”的倾向,因为研究硬件需要一定的研究条件和工作环境,所花费的投资大,技术工作难度高、时间长,投入的精力多,难于出成果,而研究软件相对来说其研究条件易于满足。这种倾向值得注意。
3.4 精密加工和超精密加工有广阔的市场需求
精密加工和超精密加工技术与国防工业、信息产业和民用产品有密切关系。
在国防工业中,陀螺仪的加工涉及多项超精密加工技术,导弹系统的陀螺仪质量直接影响其命中率,1 kg的陀螺转子,其质量中心偏离其对称轴0.0005 μm就会引起100 m的射程误差和50 m的轨道误差。在宇航技术中,卫星的姿态轴承和遥测部件对卫星的观测性能影响很大,该轴承为真空无润滑轴承,其孔和外圆的圆度和圆柱度均为纳米级。卫星用的光学望远镜、电视摄像系统、红外传感器等,其光学系统中的高精度非球面透镜等都必须用超精密加工技术进行制造。此外,大型天体望远镜的透镜、红外线探测器反射镜,激光核聚变用的曲面镜等都靠超精密加工技术才能制造。
在信息产业中,计算机上的芯片、磁盘和磁头,录像机的磁鼓、复印机的感光鼓、光盘和激光头,激光打印机的多面体,喷墨打印机的喷墨头等都要靠超精密加工才能达到产品性能要求。
在民用产品中,现代小型、超小型的成像设备,如摄像机、照相机等都离不开超精密加工技术。
由此可以看出,精密加工和超精密加工在各个行业中均有广阔的市场需求,并且是产品开发成败的关键。 4 技术前沿分析
4.1 精密加工和超精密加工的特点
4.1.1 精密加工和超精密加工技术是一个系统工程
影响精密加工和超精密加工的因素很多,它们之间相互关联,要达到理想的效果,就必须按系统工程来处理各个因素:①超精密加工的机理:包括切削、磨削、特种加工等;②超精密加工用的工件材料;③超精密加工的设备和工艺装备的制造技术;④超精密加工刀具、磨具及其刃磨技术,工具及其制作技术;⑤精密测量及误差补偿技术;⑥超精密加工工作环境条件。
如果其中有一个方面不能满足要求,均会影响其加工效果。
4.1.2 精密加工和超精密加工需要成套技术的支持
精密加工和超精密加工的加工对象往往是硬脆材料等难加工材料,除传统加工方法外,应有多种非传统方法来加工。
制造超精密加工设备需要有超精密基础部件的支持,如高精度轴承、导轨、丝杠、齿轮以及高精度控制系统、数控系统等。
加工及其检测是不可分的,一定的加工精度需要有相应的检测手段,如果没有权威性的检测方法和仪器,就不能证实所达到的加工质量。
4.1.3 精密加工和超精密加工与具体的高新技术产品结合密切
通用化、系列化的精密加工机床和超精密加工机床比较少,这是因为精密加工机床和超精密加工机床造价很高,通常都是结合具体加工对象的要求来设计制造的,在我国更是如此。
4.1.4 精密加工和超精密加工所需的投资强度较大
精密加工和超精密加工涉及多项高新技术,所形成的装置、机床或设备是一个技术密集型的产品,制造难度大,制造费用高。例如1台金刚石超精密车床需要配置恒温冷却液设备,该设备可能占有与车床本身
相同的体积,且技术复杂、投资大。
4.1.5 精密加工和超精密加工所涉及的面大,所覆盖的范围广
精密加工和超精密加工涉及力、热、声、光、电、微电子、激光、磁多方面的加工机理。从覆盖的工件大小和加工尺寸来看,小到纳米、微米级的加工尺寸,如微型机械,大到直径约3 m的射电天文望远镜的天线加工超精密车床。
4.1.6 精密加工和超精密加工要求高精度、高表面质量
超精密加工的总目标是向加工精度的极限冲刺,当前加工精度达到纳米级,在21世纪,可望达到更高,会进入原子结构内部。同时会提出相应精度的表面质量要求。不仅会出现更低的表面粗糙度值,而且对表面层的力学机械性能会提出具体指标及其检测方法。
4.2 发展趋势和前沿技术
4.2.1 超精密加工的机理
加工机理是加工方法的本质,是加工方法成败的关键。超精密加工机理的最高境界是加工极限,涉及物质内部结构和微观世界,达到量子级加工水平。加工机理是理论基础,新的加工机理出现标志着一种突破,往往是新技术的生长点。当前值得提出的前沿技术如下:
(1)“进化加工”的原则 用低于工件精度要求的机床设备,通过工艺手段,直接加工出所需工件。 (2)微量切削(又称极薄切削)机理
(3)金刚石刀具切削钢铁材料和脆性材料
(4)超硬材料微粉砂轮磨削 包括机理、多颗粒磨削机制、砂轮修整等。
(5)微观表面完整性
4.2.2 超精密加工设备制造技术
超精密加工设备是超精密加工水平的标志,超精密加工设备制造技术总的是向纳米级发展,当前的前沿技术如下:
(1)纳米级加工机床 主轴精度20 nm,定位精度50 nm,位置检测精度10 nm,环境温度20℃±0.0005℃等;
(2)纳米级关键基础件 如主轴轴系、主轴单元、导轨副、直线运动单元,微位移装置,数控伺服系统等;
(3)超精密机床工程化 对一些通用性强的超精密机床进行批量生产,将超精密加工技术扩散到精密加工,以提高整个加工技术的水平。
4.2.3 超精密加工工具制造技术
工具在这里主要是指金刚石、立方氮化硼、陶瓷等超硬材料刀具、磨具及其刃磨技术,当前的前沿技术如下:
(1)金刚石刀具刃磨技术 使刃口钝圆半径达到纳米级。
(2)新型超硬刀具材料的研究
(3)超硬材料微粉砂轮制作及刃磨技术
(4)超精密切削快速对刀装置研究
4.2.4 精密测量及误差补偿技术
精密测量是精密加工和超精密加工的必要手段,误差补偿是提高加工精度的有效措施,当前的前沿技术如下:
(1)几何尺寸的纳米级测量 包括测量基准的建立、测量仪器的研究。
(2)表面质量检测技术及其测量仪器的研究
(3)测量集成技术的研究
(4)空间误差补偿技术研究
4.2.5 超精密加工工作环境
随着超精密加工所要达到的精度越来越高,加工机理越来越广阔,对工作环境提出的要求也越来越严格,当前的前沿技术如下:
(1)探索纳米级加工技术所需要的工作环境
(2)利用遥测、遥控、遥现等遥科学手段进行加工与检测,以消除人为因素的影响
(3)空气、冷却液等恒温方法的研究
4.2.6 微细加工与微型机械
微型机械的主要加工方法是微细加工,并以纳米加工为代表,除传统加工方法外,更多的是电子束加工、离子束加工和激光束加工等非传统加工方法,这是超精密加工的一个重要的有前途的方面。由于其特点突出,可列专题。目前宜结合产品进行研究,如集成电路、微电机、微型泵、微型传感器等。
参考文献
[1]王先逵. 机械制造技术与科学的发展.见: 《机械制造的未来》论文集. 武汉:华中理工大学出版社, 1989:14~21
[2][丹麦] 辽*阿尔亨著.[美] 乔*布斯罗德 英译,马自天,刘玉文 汉译. 现代制造工程学.北京: 国防工业出版社, 1988:1~46
[3]国家自然科学基金委员会.机械制造科学(冷加工).北京:科学出版社,1994:54~66
(编辑 华 恒)
王先逵 男,1932年生。清华大学(北京市 100084)精密仪器与机械学系教授、博士研究生导师。主要研究方向为精密加工与超精密加工、特种加工、制造系统自动化(NC、CAPP、CAM、FMS、CIMS等)。获国家及省部级奖励8项,专利5项。发表论文250篇,专著15部。
吴 丹 刘成颖 北京市 100084 清华大学
精密加工和超精密加工技术综述
作者:
作者单位:
刊名:
英文刊名:
年,卷(期):
被引用次数:王先逵, 吴丹, 刘成颖中国机械工程CHINA MECHANICAL ENGINEERING1999(5)23次
1. 荣烈润 面向21世纪的超精密加工技术[期刊论文]-机电一体化2003,9(2)
2. 超精密加工技术的发展及其对策[期刊论文]-制造技术与机床2001(1)
3. 吴云锋.陈洁.WU Yunfeng.CHEN Jie 精密超精密加工技术综述[期刊论文]-新技术新工艺2007(6)
4. 赵健.Zhao Jian 综论超精密加工技术的发展[期刊论文]-机械研究与应用2008,21(5)
5. 李圣怡.戴一帆.LI Shengyi.DAI Yifan 超精密加工技术的发展及对策[期刊论文]-中国机械工程2000,11(8)
6. 简金辉.焦锋.Jian Jin-hui.Jiao Feng 超精密加工技术研究现状及发展趋势[期刊论文]-机械研究与应用2009(1)
7. 吴敏镜 超精密加工技术的现状和展望[期刊论文]-航空精密制造技术2002,38(3)
8. 吴敏镜.Wu Minjing 超精密加工技术的发展与展望[期刊论文]-机械工艺师2000(5)
9. 周志斌.肖沙里.周宴.汪科.Zhou Zhibin.Xiao Shali.Zhou Yan.Wang Ke 现代超精密加工技术的概况及应用[期刊论文]-现代制造工程2005(1)
10. 徐宁.李素玲.王淑君 精密加工技术的现状及发展前景[期刊论文]-机械制造2003,41(9)
1.孔宪玉 先进制造技术研究与发展——现代超精密加工机床的发展研究及战略[期刊论文]-黑龙江科技信息 2012(25)
2.毛建华.詹建明 被动腕关节柔顺驱动环形刀具的曲面适应性问题研究[期刊论文]-机械设计与制造 2011(9)
3.牛景丽.陈东海 现代超精密加工机床的发展及对策[期刊论文]-机床与液压 2010(2)
4.万隆.张国威.胡伟达.刘小磐.张洪磊 BMI树脂CBN超精油石制备及性能研究[期刊论文]-湖南大学学报(自然科学版) 2010(8)
5.刘小磐.万隆.胡伟达.聂道俊.卜忠衡 原位凝固法成型CBN油石研究[期刊论文]-金刚石与磨料磨具工程 2008(5)
6.司国斌.张艳 精密超精密加工及现代精密测量技术[期刊论文]-机械研究与应用 2006(1)
7.刘启东.徐春广.郝娟.宋禧锋 超精密机床数控伺服系统及其控制机理[期刊论文]-机床与液压 2005(2)
8.金卫东 硬脆材料氮化硅陶瓷的ELID超精密磨削技术研究[学位论文]博士 2005
9.刘晓旻.杨雷.裴红星 激光微加工系统中控制器的设计[期刊论文]-制造技术与机床 2004(6)
10.裴红星.刘建华.杨雷.刘晓 激光微加工系统中运动控制的实现[期刊论文]-组合机床与自动化加工技术 2004(3)
11.张富.赵继.曹志强.庄艳 液流悬浮加工的工艺参数研究[期刊论文]-机械制造 2007(4)
12.张梦华.盛晓敏.黄红武.陈涛.宓海青.张海燕 高速精密磨削数据共享系统的设计研究[期刊论文]-机床与液压 2007(4)
13.赫玉娟.曹克伟.张大卫.田延岭 对超精密加工及纳米加工环境的分析[期刊论文]-组合机床与自动化加工技术 2003(10)
14.吴上生.申双喜 超精密加工及其进给驱动技术[期刊论文]-机械设计与制造 2001(2)
15.丁晓辉.董再励.刘柱.魏阳杰 纳米级微动平台的结构力学特性及实验研究[期刊论文]-机器人 2010(3)
16.赵中敏.朱伟 高精度数控机床伺服系统控制原理研究[期刊论文]-世界制造技术与装备市场 2008(5)
17.刘家豪.傅建中.陈子辰 超精密加工的关键技术及发展趋势[期刊论文]-机电工程 2001(5)
18.董红磊 精密加工与精密测量技术的发展[期刊论文]-宇航计测技术 2008(6)
19.鲁德初 YAG基片的机械抛光研究[期刊论文]-孝感学院学报 2006(6)
20.杨鑫宏 固着磨料平面高速研磨的仿真与实验研究[学位论文]博士 2004
21.曹志强 基于机器人的液流悬浮研抛加工理论与试验研究[学位论文]硕士 2004
22.钟志 快速超精密激光外差干涉监测系统若干关键技术[学位论文]博士 2005
23.张云龙 反应烧结碳化硅磨削机理研究[学位论文]硕士 2005
24.周燕辉 一类新型复合球副的设计及其制造[学位论文]硕士 2005
本文链接:http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_zgjxgc199905027.aspx