激光清洗技术评述
第
卷第
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月
今
激 光洗技术清述
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械 业工激 光加 工中心 京
北要
激提光清 在洗工 中 业 应的 有用 清除半导 和体 光 器学件表 面附着 微的粒 铜表面 氧的化 物 属 和金
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酞 胺薄亚膜 和硅 片 材 料
等。
使 用 激的 器光 类 型 有大功率 连 波
。
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器光 便 式 携连 续 脉和冲
,
激光 器
,
脉
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,
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该
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,
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。
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近十 年来 迅速 发 展 已 由实验 室走 向实,
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。。
已
有 套 成的激 光 洗清 品商 统 出系 售
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三
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、
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学系
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洗 辐核射 污 染
染的 废 水辐照 核 污 染 的 水泥 混 凝 土 建筑 物表 层使 之 成变 无为 放射 性 危 害 可 的贮 存
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