VAS维护保养作业指导书
1 目的
指导VAS设备正确保养，规范员工正确维修保养设备行为，确保设备正常运转及人员安全事故，有效降低其故障率，提高生产机械效率。 2 适用范围
适用于上海天马制造中心面板厂ODF工程师和技术员 3 职责
按照保养SOP对机台进行保养，使机台处于良好的作业状态。 4 定义
4.1 PM：Prevent Maintenance预防保养
4.2 Utility：厂务端提供的水、电、气之通称
4.3 TMP：分子泵.将腔体有低真空度抽到高真空度的泵 4.4 Chamber：腔体
4.5 Table 基板搭载平台； 4.6 Nozzle 喷嘴； 4.7 MANUL 手动模式；
4.8 AUTO 自动模式；
4.9 Pin：受取基板的装置，可以擎住基板并与基板一同上升或下降。
4.10 CDA：即Clean Dry Air，指洁净的干燥空气，用于驱动气动马达，或破真空。 4.11 VAC：即Vacuum，指真空。
4.12 PCW：即Process Cooling Water，指制程冷却水，用于对管路进行冷却。 4.13 Drain：即无压排水。
4.14 Main body: 机台主体部分。
4.15 Dry Pump: 抽真空用干泵，用于将腔体由大气状态抽到低真空度。 4.16 轻故障：只需要进行故障排除就能够马上重新工作的故障。 4.17重故障：在故障排除后必须进行重新启动才能重新工作的故障
6.维护保养异常处理
6.1异常断电的复机流程
异常断电后复机流程图
图3-1
图6-1 注意事项：
（1）与厂务确认断电原因，及供电恢复后是否已稳定，确认已稳定后才可复机。
（2）要注意chamber内是否是真空状态，如果是，在step运转中让其恢复为大气状态。 （3）发生scrap时，设备端删除Glass信息后，搬送部也要删除供给记忆。 2 长期停机的处理
2.1 长期停机时设备的关机步骤
图6-2
2.2长期停机时设备的开机步骤
图6-3
7.安全及环境注意事项
7.1 无特殊情况，Pump应始终处于ON的状态，设备出故障需要重新启动时，要先将Pump 关闭，再切断电源
7.2 禁止触碰带电元件，否则可能会发生触电。
7.3安全支柱比较重，在使用时要注意安全，防止在转移时从手脱落对人或对设备造成损 伤。另外安全支柱是专门用于对真空贴合设备进行定盘清扫和维护的安全保障工具，不具 备任何其他功能，不能在任何其他场合使用。
7.4 Cleaning棒是专门用于对真空贴合设备定盘清扫的工具，不具备任何其他功能，不能在任何其他场合使用。
7.5设备的Interlock取消操作非常危险，取消之后设备本身的安全限制将全部失效，有 可能对人员及机台造成严重伤害。只有设备担当工程师在有维护保养的时候才能进行此操 作，其他任何人员不可进行Interlock取消操作；若有保护作用的Sensor失效、带电部件 损坏或线路老化时及时通知工程师进行更换。
7.6禁止酒后上班、疲劳作业 、带病工作，按规定进行着装穿戴以免引发伤害。
7.7对设备状况不了解时禁止随意进行相关操作以免引发伤害。
7.8需用酒精进行相关清洁时，按压酒精瓶时适度用力，防止用力过大导致酒
精溅入眼睛。
7.9禁止触按机台发热部分；设备注油时，小心油污溅出伤眼。
7.10清理玻璃碎片时要佩带乳胶手套，以防手部被划伤；用吸尘器吸取碎渣时要带上护目眼睛，防止碎渣贱入眼内。
7.11需停电作业时，将对应开关关掉，确保设备处于无电状态。
8 相关表格
8.1《设备维护保养记录表（长周期）》。
9 相关附件
无
10 参考文件
《Cell设备通用维护保养作业指导书》：
《VAS作业指导书》
11 相关OA流程
无