电子束蒸发操作规范
电子束蒸发使用安全规范
1、 实验前确认事项
A、开启液氮;
B、冷却机水箱是否具有足够的水。
2、 装样
A、 拧开样品台上的四个螺母,断开冷却水管,取出样品台;
B、 使用乙醇擦拭样品台与腔体的接口;
C、 装样;
D、 把样品台放入腔体,拧紧样品台的螺母,接上冷却水管。
3、 开机,抽真空
A、打开总电源,开启冷却水机;
B、打开电脑操作软件,启动分子泵以及机械泵。
4、 除气
A、 待腔体内气压低于10-3pa(时间允许情况下真空度尽量
低);
B、 打开面板电源;
C、 HV降至0V;
D、 Control Mode设置为Filament Current;
E、 Pocket 1设置为Enable;
F、 逐渐提高Filament Current至1A,注意不要使真空度降低
过快;
G、 将Filament Current降至0,关闭Pocket 1。
5、 镀膜
A、 HV升高至2 kV;
B、 Control Mode设置为HV power;
C、 逐渐提高HV power(视工艺参数而定),同时注意不要使
真空度降低过快;
D、 打开蒸发源挡板,稳定5分钟;
E、 打开样品台挡板,正式镀膜,记录镀膜开始时间;
F、 关挡板,记录结束镀膜时间,降低HV power至0 w,然
后降低HV至0 V(注意降低的顺序不可颠倒);
G、 冷却30分钟。
6、 取样
A、 关闭分子泵以及机械泵,关闭冷却水机;
B、 待分子泵转速低于2000rpm,若电磁阀为自动开启需手动
开启,拧开样品台螺母,通入氮气至样品台可取出(勿正对玻璃观察窗);
C、 断开冷凝水管,取出样品台,取样;
D、 将样品台放入腔体,接上冷凝水管。
7、 关机
A、 关闭总电源;
B、 关闭计算机(勿忘记关闭电磁阀)。