测量显微镜示值误差测量结果的不确定度评定
技
术
论
文
测量显微镜示值误差测量结果的
责任编辑
张晓明不确定度评定
文／钱玉新李妍杨久萍
１、测量过程简述ｋ＝３，估计，按均匀分布，则：测量依据：依据ＪＪＧ５７１－２００４《读数、测量显微
镜检定规程》。温度和线膨胀系数差的修正量产生的不确定测量环境条件：温度（２０±３）℃。度ｕ#
测量标准：分度值１ｍｍ，测量范围１００ｍｍ，测量显微镜标尺与标准玻璃线纹尺的线膨胀Ｕ９９＝１! ｍ二等玻璃线纹尺。系数引起的不确定度ｕ$１被测对象：分度值为０．０１ｍｍ的测量显微镜。线膨胀系数差在＋１×１０－６的范围内服从均匀测量方法：将标准玻璃刻度尺放在玻璃台面分布，△ｔ＝５℃，估计，测量长度为５０ｍｍ上，转动测微鼓轮使所检坐标方向的示值大致处于时，则：
零位。调整刻度尺轴线与纵向移动方向相平行，并
使其零线与目镜中的十字线大致对准。然后转动测
微鼓轮，测值。以仪器各点示值误差的最大、最小之测量显微镜标尺与标准玻璃线纹尺的温度差差作为示值误差。产生的不确定度ｕ%２评定结果的使用：符合上述条件的测量结果，等温后，仪器与玻璃尺的温差估计在±１℃范一般可直接使用本不确定度的评定方法。围内服从均匀分布，估计，则：
２、数学模型
δ＝ａ－Ｌ＋△
δ———测量显微镜相对于起始点的示值误差；
ａ———测量显微镜的读数值，ｍｍ；
Ｌ———标准玻璃尺的实际尺寸，ｍｍ；４、合成标准不确定度评定△———环境温度和玻璃尺线膨胀系数差引入灵敏系数
的误差。ａ的灵敏系数：
３、各输入量的标准不确定度分量的评定
测量显微镜的读数重复性引入的不确定度ｕ&Ｌ的灵敏系数：
（采用Ａ类方法评定）
对测量显微镜１０ｍｍ点连续测量１０次，得：△的灵敏系数：
１０．００２，１０．００１，１０．０００，１０．０００，１０．００２，１０．００１，１０．００合成标准不确定度计算０，１０．００３，１０．００１，１０．０００（ｍｍ）。
单次测量实验标准差：有效自由度
ｖｅｆｆ≈１２４
任意选取３台同类测量显微镜，每台分别选３取置信概率ｐ＝９５％，有效自由度ｖｅｆｆ＝１２４，查ｔ处测量点，各在重复性条件下连续测量１０次，共得分布表得：ｋ９５＝ｔ９５（ｖｅｆｆ）＝１．９６到９组测量列：５、测量不确定度报告合成样本标准差为：对测量显微镜１０ｍｍ点测量，其示值误差测量标准器极限误差引入的不确定度ｕＬ结果的扩展不确定度为：Ｕ９５＝ｔ９５（ｖｅｆｆ）×ｕｃ≈１．７&ｍ，从上级证书可得：璃璃线纹尺的误差±１．０" ｍ，ｖｅｆｆ＝１２４。（作者单位：沈阳计量测试院）４４２００８年１期（上）