蔡司场发射优势
蔡司热场扫描电镜技术优势
世界可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS 电子束技术在世界上创造了数个第一：
y 第一台静电式透射电镜 (1949)
y 第一台商业化扫描电镜 (1965)
y 第一台数字化扫描电镜(1985)
y 第一台带有成像滤波器的透射电镜 (1992)
y 第一台场发射扫描电镜(1990)
y 第一台具有Koehler 照明的 200kV 场发射透射电镜(2003)
y 第一台具有镜筒内校正Omega 能量滤波器的场发射透射电镜(2003)
ZEISS 场发射扫描电镜特点
ZEISS 电镜为肖特基（Schottky）热场发射扫描电镜主要有如下特点： 1， 电子束噪声较小，
2， 束流稳定度高，优于0.2%/h，适宜于长时间的各种精确分析。
上述两项指标其它厂家均未给出。在理论上其他厂家比蔡司要差一个数量级。
3， 同级别最高分辨率。GEMINI镜筒--ZEISS场发射电镜由于其独特的镜筒设计（GEMINI镜筒），具有无以伦比的成像能力,无交叉光路设计,无Boersch（柏旭） 效应,大景深，分辨率高。
传统镜筒：右图
在交叉点有 Boersch 效应
电离量大
镜筒变得很长
对恶劣环境敏感
Gemini 镜筒没有
交叉点，Gemini 提供一个
超短的光学系统，最重要的是没有亮度损失！
特点
¾ 高稳定热场发射电子枪（FEG）
变化
¾ 低电子束噪声 1 %
¾ 无交叉电子束路径
无 Boersch 效应,
大景深
4， 低电压技术一直以来代表电镜的最高制造水平，ZEISS场发射电镜具有极好的低加速电压性能，采用 Beam booster （电子束推进器，蔡司专利） 确保在整个低电压 范围的极好图像分辨率，加速电压可低至20V，且在20V 时具有较高的分辨率，从低电压低至20V 至高电压30KV 无需切换模式，其他厂家需要重新调整切换模式 。且最低电压只能做到100V。
5， 超大样品室、全部坐标马达驱动样品台及较大的移动范围，为使用提供了极大的方便。
6， 抽屉式样品室拉门，方便样品更换及大样品、形状复杂样品的观察。而冷场扫描电镜由于要求的真空度较高，不宜破坏样品室的真空，一般用“样品交换气锁”来更换样品，操作麻烦，且进出样品的尺寸、形状受限。
7， 真空系统全自动控制，不需人工干预。
8， 独特的环形In-lens 二次电子探测器，其信噪比更高，动态范围更好，并且探测器材料不存在老化效应。探测效率高、圆周对称。而其它厂家的In-lens 探测器安装在一侧，且结构复杂。只能吸收到部分二次电子。
9， ZEISS专利的VP 技术，增强型可变压力二次电子探测器（VPSE)，压力范围2～133Pa。冷场发射电镜一般没有可变压力（低真空）工作方式。可观察药品，生物等全部非导电样品。高真空(HV)和可变压力(VP)方式之间简单的点击选择
10， 采用电磁、静电复合式物镜，无漏磁设计，杂散磁场小，可对铁磁体样品进行高分辨率成像。
复合磁/静电物镜的原理和它的等效光学示意图在样品上无磁场!!在所有 kV
保持不变!
11， 末级光栏采用多孔光栏结构，用电磁方式进行更换和对中调整，操作方便。镜筒上无需用户调整的部件。
12， 德国制造，设计先进，工艺考究。圆形、高刚性、厚壁、整体结构大样品室，5轴马达台，整机四块电路板维护简单结构稳定、防震、防磁。物镜、分子泵、电路板散热器件均用水冷，冷却水恒温，大大增强了稳定性、可靠性和可重复性。