压力传感器特征对比
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压力传感器特征对比
传感器是指能感受规定的被测量并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置。压力传感器种类繁多，测量精度也相差很大。以下作简单的对比：
(1) 应变电阻式传感器 安装于传感器中的电阻片被接于测量电桥中，当电阻片受到外
力作用产生变形时，其阻值便发生变化，因此测量电桥便有相应的不平衡信号输出。应变片式传感器体积大, 灵敏度低。
(2) 电容式传感器 在传感器中装有一个有固定电极和可动电极构成的电容器，此电容
器被接在一个谐振回路中，当传感器承受压力时，由于两个电极间的距离发生变化，使电容量发生变化，因此谐振电路的谐振频率便发生相应的变化，从而实现了将压力转换为电量的目的。电容式传感器体积大、结构复杂、加工工艺要求高。
(3) 压电式传感器 压电式加速度传感器是利用压电晶体或人工极化陶瓷、铁电材料为
敏感元件，将振动信号转换成电信号的换能装置，它的输出电荷与振动加速度成正比。压电式传感器的高频响应相当好，这是其突出的特点。但不能测量静态物理量，对于缓慢变化的动态量，其灵敏度下降。
（5）扩散硅压阻式传感器 由外壳、硅膜片和引线组成。其核心部分是一块圆形硅膜片，在膜片上采用半导体微机械加工工艺扩散上四个阻值相等的电阻，用导线将其构成平衡的惠斯顿电桥。膜片的两侧有两个压力腔，一个是与被测系统相连接的高压腔，另一个是低压腔。当外加压力信号与高、低压腔相连、硅膜片两边存在压力差时，膜片产生变形，四个电阻在应力作用下，电桥失去平衡引起输出电压变化，该信号的变化和所加差压成正比。