部分半导体物理课后习题解答
半导体物理习题解答
1-1.(P 32)设晶格常数为a 的一维晶格,导带极小值附近能量E c (k )和价带极大值附近能量E v (k )分别为:
h 2k 2h 2(k -k 1) 2h 2k 23h 2k 2
E c (k)=+和E v (k)= -;
3m 0m 06m 0m 0
m 0为电子惯性质量,k 1=1/2a;a =0.314nm 。试求:
①禁带宽度;
②导带底电子有效质量; ③价带顶电子有效质量;
④价带顶电子跃迁到导带底时准动量的变化。 [解] ①禁带宽度Eg
dEc (k ) 22k 22(k -k 1) 根据=+=0;可求出对应导带能量极小值E min 的k 值:
dk 3m 0m 0
k min =
3
k 1, 4
由题中E C 式可得:E min =E C (K)|k=kmin =
2
k 1; 4m 0
由题中E V 式可看出,对应价带能量极大值Emax 的k 值为:k max =0;
2k 122k 12h 2
并且E min =E V (k)|k=kmax =;∴Eg =E min -E max == 2
12m 06m 048m 0a (6. 62⨯10-27) 2
==0.64eV -28-82-11
48⨯9. 1⨯10⨯(3. 14⨯10) ⨯1. 6⨯10
②导带底电子有效质量m n
2
d 2E C 222h 28232d E C
=m 0 ;∴ m n =/=+=22
8dk 3m 0m 03m 0dk
③价带顶电子有效质量m ’
2
d 2E V 162' 2d E V
m =/=-m 0 ,∴=-n
6dk 2m 0dk 2
④准动量的改变量
33h
△k =(k min -k max )= k 1=
48a
[毕]
1-2.(P 33)晶格常数为0.25nm 的一维晶格,当外加102V/m,107V/m的电场时,试分别计算电子自能带底运动到能带顶所需的时间。 [解] 设电场强度为E ,∵F =h
dk h =qE (取绝对值) ∴dt =dk dt qE
∴t=
⎰
t
dt =⎰
12a 0
h 1h dk = 代入数据得:
qE 2a qE
6. 62⨯10-348. 3⨯10-6
t ==(s )
E 2⨯1. 6⨯10-19⨯2. 5⨯10-10⨯E
当E =102 V/m时,t =8.3×108(s );E =107V/m时,t =8.3×1013(s )。 [毕]
19-318-3
3-7.(P 81)①在室温下,锗的有效状态密度Nc =1.05×10cm ,Nv =5.7×10cm ,试求锗的载流子有
-
-
效质量m n 和m p 。计算77k 时的Nc 和Nv 。已知300k 时,Eg =0.67eV 。77k 时Eg =0.76eV 。求这两个温度时锗的本征载流子浓度。②77k ,锗的电子浓度为10cm ,假定浓度为零,而Ec -E D =0.01eV, 求锗中施主浓度N D 为多少?
-23-34
[解] ①室温下,T=300k(27℃),k 0=1.380×10J/K,h=6.625×10J·S,
19-318-3
对于锗:Nc =1.05×10cm ,Nv=5.7×10cm : ﹟求300k 时的Nc 和Nv : 根据(3-18)式:
19
2Nc 3-3421. 05⨯10h () (6. 625⨯10) () 3*
2(2π⋅m n k 0T ) *-31(3Nc =⇒m ===5. 0968⨯10Kg 根据n 3-23
2π⋅k 0T h 2⨯3. 14⨯1. 38⨯10⨯300
3
2
2
2
17
-3
**
-23)式:
18
Nv 3-3425. 7⨯10h () (6. 625⨯10) () 3
2(2π⋅m *k T ) p 0*-3122Nv =⇒m ===3. 39173⨯10Kg ﹟求77k 时p
2π⋅k 0T h 32⨯3. 14⨯1. 38⨯10-23⨯300
3
2
2
2
2
的Nc 和Nv :
2(2π⋅m k T ' )
333
N T ' T ' 77' 1919222
==() ; N =() N =() ⨯1. 05⨯10=1. 365⨯10 c c 3N c T T 300*
2(2π⋅m n k 0T ) 2
h 3
' c
*n 03
32
同理:
T ' 772
N =() 2N v =() ⨯5. 7⨯1018=7. 41⨯1017
T 300
'
v
33
﹟求300k 时的n i :
n i =(NcNv ) exp(-
求77k 时的n i :
12
Eg 0. 67
) =(1. 05⨯1019⨯5. 7⨯1018) exp(-) =1. 96⨯1013 2k 0T 0. 052
Eg 0. 76⨯1. 6⨯10-191918
n i =(NcNv ) exp(-) =(1. 05⨯10⨯5. 7⨯10) exp(-) =1. 094⨯10-7②77k -23
2k 0T 2⨯1. 38⨯10⨯77
时,由(3-46)式得到:
-19-231719-3
Ec -E D =0.01eV =0.01×1.6×10;T =77k ;k 0=1.38×10;n 0=10;Nc =1.365×10cm ;
12
-19Ec -E D 20. 01⨯1. 6⨯1017[n 0)]⨯2[10⨯)]2⨯2-232k 0T 16N D ===6. 6⨯10; 19
Nc 1. 365⨯10
[毕]
3-8.(P 82)利用题7所给的Nc 和Nv 数值及Eg =0.67eV ,求温度为300k 和500k 时,含施主浓度N D =5×1015cm -3,受主浓度N A =2×109cm -3的锗中电子及空穴浓度为多少? [解]1) T=300k 时,对于锗:N D =5×1015cm -3,N A =2×109cm -3:
n i =(NcNv ) exp(-
12
Eg
) =1. 96⨯1013cm -3; 2k 0T
n 0=N D -N A =5⨯1015-2⨯109≈5⨯1015; n 0>>n i ;
n i 2(1. 96⨯1013) 210
; p 0==≈7. 7⨯1015
n 05⨯10
2)T =300k 时:
α⋅T 24. 774⨯10-4⨯5002
Eg (500) =Eg (0) -=0. 7437-≈0. 58132eV ;
T +β500+235
查图3-7(P61) 可得:n i ≈2. 2⨯1016,属于过渡区,
n 0=
(N D -N A ) +[(N D -N A ) +4n ]
=2. 464⨯1016;
2
2
122i
n i 2
p 0==1. 964⨯1016。
n 0
(此题中,也可以用另外的方法得到n i :
N =
' c
(Nc ) 300k 300
32
⨯500;N =
32
' v
(Nv ) 300k 300
32
⨯500;n i =(NcNv ) exp(-
3212
Eg
) 求得n i ) 2k 0T
[毕]
14-317-3
3-11.(P 82)若锗中杂质电离能△E D =0.01eV ,施主杂质浓度分别为N D =10cm 及10cm ,计算(1)99%电离,(2)90%电离,(3)50%电离时温度各为多少? [解]未电离杂质占的百分比为:
D _=
求得:
2N D ∆E ∆E D D _Nc
; exp D ⇒=ln
Nc k 0T k 0T 2N D
∆E D 0. 01-19=⨯1. 6⨯10=116; -23
k 0T 1. 38⨯10
3
2(2πm k ) 15
Nc ==2⨯10(T 2/cm 3)
h
*n 03
32
116D _Nc D _⨯2⨯10⨯T 1015∴=ln =) =D _T 2)
T 2N D 2N D N D
(1) N D =10cm ,99%电离,即D_=1-99%=0.01
14
-3
15
3
2
3
1163
=ln(10-1T 2) =ln T -2. 3 T 2
即:
3
1163
=ln T -2. 3 T 2
将N D =1017cm -3,D_=0.01代入得:
1163
=ln 104T 2=ln T -4ln 10 T 2
即:
3
1163
=ln T -9. 2 T 2
(2) 90%时,D_=0.1
N D =1014cm -3
∆E D 0. 1Nc
=ln
k 0T 2N D
3
3
1160. 1⨯2⨯1015210142
=ln T =ln T T 2N D N D
1163
=ln T T 2
1163
=ln T -3ln 10 N D =1017cm -3得:T 2
1163
=ln T -6. 9; 即:T 2
即:
(3) 50%电离不能再用上式 ∵n D =n D =
+
N D
2
即:
N D N D
=
E D -E F E D -E F 1
1+) 1+2exp(-) 2k 0T k 0T
∴E D -E F E -E F
) =4exp(-D ) k 0T k 0T
E D -E F E -E F
=ln 4-D
k 0T k 0T
即:E F =E D -k 0T ln 2
E c -E F N
n 0=Nc exp(-) =D
k 0T 2
取对数后得:
-
整理得下式:
E C -E D +k 0T ln 2N
=ln D
k 0T 2Nc
-
∆E D Nc
=ln
k 0T N D
14
-3
∆E D N ∆E D N
-ln 2=ln D ∴ -=ln D k 0T 2Nc k 0T Nc
即:
当N D =10cm 时,
1162⨯1015⨯T =ln T 1014
1163
=ln T +3 T 2
116317-3
=ln T -3. 9 当N D =10cm 时T 2
得
3
2
=ln(20T ) =
32
3
ln T +ln 20 2
此对数方程可用图解法或迭代法解出。 [毕] 3-14.(P 82)计算含有施主杂质浓度N D =9×1015cm -3及受主杂质浓度为1.1×1016cm -3的硅在300k 时的电子和空穴浓度以及费米能级的位置。
[解]对于硅材料:N D =9×1015cm -3;N A =1.1×1016cm -3;T =300k 时 n i =1.5×1010cm -3:
p 0=N A -N D =2⨯1015cm -3;
n i (1. 5⨯1010) 2-35-3
n 0==cm =1. 125⨯10cm 16
p 00. 2⨯10
∵p 0=N A -N D 且p 0=Nv ⋅exp (
E V -E F
)
K 0T
∴
E -E F N A -N D
=V )
Nv k 0T
N A -N D 0. 2⨯1016
=Ev -0. 026ln (eV ) =Ev -0. 224eV ∴E F =Ev -k 0T ln 19
Nv 1. 1⨯10
[毕]
3-18.(P 82)掺磷的n 型硅,已知磷的电离能为0.04eV ,求室温下杂质一般电离时费米能级的位置和磷的浓度。
[解]n型硅,△E D =0.044eV ,依题意得:
+
n 0=n D =0. 5N D
∴
N D
=0. 5N D
E D -E F
1+2exp(-)
k 0T
∴1+2exp(-
E D -E F E -E F 1
) =2⇒exp(-D ) = k 0T k 0T 2
1
=k 0T ln 2⇒E D -E C +E C -E F =k 0T ln 2 2
∴E D -E F =-k 0T ln
∵∆E D =E C -E D =0. 044
∴E F =E C -k 0T ln 2-0. 044⇒E F -E C =-k 0T ln 2-0. 044=0. 062eV
N D =2N C exp(-
E C -E F 0. 062
) =2⨯2. 8⨯1019exp(-) ≈5. 16⨯1018(cm -3) k 0T 0. 026
[毕]
3-19.(P 82)求室温下掺锑的n 型硅,使E F =(EC +E D )/2时的锑的浓度。已知锑的电离能为0.039eV 。 [解]由E F =
E C +E D
可知,E F >ED ,∵EF 标志电子的填充水平,故ED 上几乎全被电子占据,又∵在室温2
下,故此n 型Si 应为高掺杂,而且已经简并了。 ∵∆E D =E C -E D =0. 039eV
E C -E F =E C -
E C +E D
=0. 0195
即0
E C -E F
k 0T
+
∴n 0=n D =
N D N D
=
E F -E D ∆E D
1+2) 1+2)
k 0T k 0T
∴
E -E C E -E D
[1+2F )]⨯F 1(F )
k 0T k 0T 2
E -E c E -E C ∆E 2Nc
=[1+2F ) D )]⨯F 1(F )
k T k T k T 0002N D =
2Nc ==2Nc
-0. 01950. 039-0. 0195
[1+2) )]⨯F 1()
0. 0260. 0260. 0262
2⨯2. 8⨯1019
0. 0195-0. 0195[1+2)]⨯F 1() ≈6. 6⨯1019(cm -3)
0. 0260. 0262
其中F 1(-0. 75) =0. 4
2
[毕] 3-20.(P 82)制造晶体管一般是在高杂质浓度的n 型衬底上外延一层n 型的外延层,再在外延层中扩散硼、磷而成。①设n 型硅单晶衬底是掺锑的,锑的电离能为0.039eV ,300k 时的E F 位于导带底下面0.026eV 处,计算锑的浓度和导带中电子浓度。
[解] ①根据第19题讨论,此时Ti 为高掺杂,未完全电离:
0
∵n 0≈n D =
+
N D
E F -E D
1+2)
k 0T
E F -E D =(E C -E D ) -(E C -E F ) =0. 039-0. 026=0. 013(eV )
N D ==
2Nc
E -E C E -Ec ∆E
[1+2F ) ⨯D )]F 1(F )
k 0T k 0T k 0T 2
2⨯2. 8⨯1019
0. 039
[1+2exp(-1) ⨯)]F 1(-1)
0. 0262
≈4. 07⨯1019(cm -3)
其中F 1(-1) =0. 3
2
n 0=Nc
2
F 1(
2
E F -E C 2⨯2. 8⨯1019-0. 026
) =F 1() ≈9. 5⨯1019(cm -3)
k 0T 0. 0262
[毕]
4-1.(P 113)300K 时,Ge 的本征电阻率为47Ω·cm ,如电子和空穴迁移率分别为3900cm 2/V·S 和1900cm 2/V·S ,试求本征Ge 的载流子浓度。
[解]T=300K,ρ=47Ω·cm ,μn =3900cm 2/V·S ,μp =1900 cm2/V·S
ρ=
1n i q (μn +μp )
⇒n i =
11
==2. 29⨯1013cm -3[毕] -19
ρq (μn +μp ) 47⨯1. 602⨯10(3900+1900)
4-2.(P 113)试计算本征Si 在室温时的电导率,设电子和空穴迁移率分别为1350cm 2/V·S 和500cm 2/V·S 。
当掺入百万分之一的As 后,设杂质全部电离,试计算其电导率。比本征Si 的电导率增大了多少倍? [解]T=300K,,μn =1350cm 2/V·S ,μp =500 cm2/V·S
σ=n i q (μn +μp ) =1. 5⨯1010⨯1. 602⨯10-19⨯(1350+500) =4. 45⨯10-6s /cm
掺入As 浓度为N D =5.00×1022×10-6=5.00×1016cm -3
杂质全部电离,N D >>n i ,查P 89页,图4-14可查此时μn =900cm 2/V·S
2
σ2=nq μn =5⨯1016⨯1. 6⨯10-19⨯900=7. 2S /cm
σ27. 26
==1. 62⨯10 -6σ4. 45⨯10
[毕] 4-13.(P 114)掺有1.1×1016 cm-3硼原子和9×1015 cm-3磷原子的Si 样品,试计算室温时多数载流子和少数载流子浓度及样品的电阻率。
[解]N A =1.1×1016 cm-3,N D =9×1015 cm-3
p 0=N A -N D =2⨯1015cm -3
n i 21. 5⨯1010
n 0===1. 125⨯105cm -3 15
p 02⨯10
可查图4-15得到ρ=7Ω·cm
(根据N A +N D =2⨯1016cm -3,查图4-14得ρ,然后计算可得。)
[毕] 4-15.(P 114)施主浓度分别为1013和1017cm -3的两个Si 样品,设杂质全部电离,分别计算:①室温时的电导率。
[解]n1=1013 cm-3,T =300K ,
σ1=n 1q μn =1013⨯1. 6⨯10-19⨯1350s /cm =2. 16⨯10-3s /cm
n 2=1017cm -3时,查图可得μn =800Ω⋅cm
σ1=n 1q μn =1013⨯1. 6⨯10-19⨯800s /cm =12. 8s /cm
[毕]
14-3
5-5.(P 144)n 型硅中,掺杂浓度N D =1016cm -3,光注入的非平衡载流子浓度Δn =Δp =10cm 。计算无光照和有光照时的电导率。 [解]
n-Si ,N D =1016cm -3,Δn =Δp =10cm ,查表4-14得到:μn ≈1200, μp =400:
14
-3
无光照:σ=nq μn =N D q μn =1016⨯1. 602⨯10-19⨯1200≈1. 92(S /cm ) Δn =Δp
σ' =(n +∆n ) q μn +(p +∆p ) q μp =[(1016+1014) ⨯1200+1014⨯400]⨯1. 602⨯10-19
≈1. 945(S /cm )
[毕]
14-3
5-7.(P 144)掺施主杂质的N D =1015cm -3n 型硅,由于光的照射产生了非平衡载流子Δn =Δp =10cm 。试计算这种情况下准费米能级的位置,并和原来的费米能级做比较。 [解]
14-3
n-Si ,N D =1015cm -3,Δn =Δp =10cm ,
n 0=N C exp(-
E C -E F
) k 0T
n 010=Ec +0. 026ln eV =Ec -0. 266eV Nc 2. 8⨯1019
15
⇒E F =Ec +k 0T ln
光照后的半导体处于非平衡状态:
n
E C -E F
n =n 0+∆n =N C exp(-)
k 0T n
∴E F =Ec +k 0T ln
n 0+∆n 10+10
=Ec +0. 026ln eV =Ec -0. 264eV Nc 2. 8⨯1019
1514
n
E F -E F =0. 002eV p
Ev -E F
p ≈∆p =N V )
k 0T p
∴E F =Ev -k 0T ln
∆p 10
=Ev -0. 026ln eV =Ev +0. 302eV Nv 1. 1⨯1019
14
室温下,Eg Si =1.12eV ;
E F =Ec -0. 266eV =Eg +Ev -0. 266eV =1. 12eV +Ev -0. 266eV =Ev +0. 854eV
p
E F -E F =0. 552eV
比较:
n 由于光照的影响,非平衡多子的准费米能级E F 与原来的费米能级E F 相比较偏离不多,而非平衡勺子的费p 米能级E F 与原来的费米能级E F 相比较偏离很大。
[毕]
5-16.(P 145)一块电阻率为3Ω·cm 的n 型硅样品,空穴寿命τp =5μs ,再其平面形的表面处有稳定的空穴注入,过剩空穴浓度(∆p ) 0=1013cm -3,计算从这个表面扩散进入半导体内部的空穴电流密度,以及在离表面多远处过剩空穴浓度等于1012cm -3? [解] ρ=3Ω⋅cm ;τp =5μs ,(∆p ) 0=1013cm -3: 由ρ=3Ω⋅cm 查图4-15可得:N D ≈1. 75⨯1015cm -3, 又查图4-14可得:μp ≈500cm /V ⋅S 由爱因斯坦关系式可得:D p =
2
k 0T 1
μp =⋅500cm 2/S =12. 5cm 2/S q 40
所求(Jp ) 扩=q
D p Dp x
∆p (x ) =q (∆p ) 0exp(-) Lp D p τp D p τp
而Lp =
D p τp =. 5⨯5⨯10-6cm ≈7. 9057⨯10-3cm
∴(Jp ) 扩=1. 6⨯10-19⋅
12. 5x
⋅1013⋅exp(-) A /cm 2
-3
7. 90577. 9057⨯10
≈2. 53⨯10-3⋅exp(-126. 5x ) A /cm 2
∆p (x ) =(∆p ) 0exp(-126. 5)
1∆p (x ) 110121
∴x =-ln =-ln 13cm ≈-⋅(-2. 3) cm =0. 0182cm
126. 5(∆p ) 0126. 510126. 5
[毕]