中国半导体材料最新发展信息
邱慈云先生在去年底的会议上，以我国集成电路晶圆制造产业界的领军人表达了对我国半导体材料业的看法。他说，经过近10来年的卧薪尝胆，中国半导体材料公司产品率先批量进入了领先半导体大生产线供应链中，这是整个中国半导体产业的骄傲。
江丰电子是我国半导体材料产业领先的企业。该公司在超高纯金属材料及溅射靶材的研发与生产上快速崛起，其产品已大批量实现在世界一流半导体公司（如台积电、联电、东芝等）的300mm晶圆28nm工艺节点量产，挤身于超大规模集成电路芯片生产的国际一流水平行列，填补了中国在靶材领域的产业空白。目前，江丰电子正在承担国家02重大专项（20-14nm技术节点相关材料）的研发，技术已达到国际领先水平，在相关产业界有着广泛影响。
上海新阳公司的硫酸铜电镀液产品成功进入中芯国际北京B1中央供液系统，并正式成为中芯国际北京硫酸铜电镀液第一供应商。新阳通过不断完善和优化管理生产系统，切实有效保证供货的稳定性与产品的可靠性，打破了国外半导体材料供应商的垄断，成功迈出了中国半导体材料本土化的重要一步。作为国内一线半导体材料供应商，上海新阳籍此打开国际市场业务也指日可待。上海新阳产品涉及半导体制程前、后道所需的专业电子化学品及其配套设备，如TSV技术、干法刻蚀清洗技术、晶圆凸点电镀技术等。
涉及半导体制程前、后道所需的专业电子化学品及其配套设备的安集微电子，如TSV技术、干法刻蚀清洗技术、晶圆凸点电镀技术等方面，已开发出90-40纳米级IC技术节点相关产品，并在国内外多家大型及领先的半导体公司生产线上量产数年。从2009年着手研究90-65nm技术节点，到2013年攻克45-28nm节点，安集抛光液关键制备及大规模量产技术快速提升，目前安集正进行的32-28nm技术节点相关产品的开发与论证，依托自主研发、自主创新完成了产品的三次迭代升级。
高纯钛，是指纯度在99.95%乃至99.995%以上的钛。具有密度小，比强度高，弹性模量低(表面硬度)，导热系数小，耐腐蚀、耐热、耐冷、无磁性、无毒等特性，主要应用在半导体大规模和超大规模集成电路上。目前绝大多数的大规模集成电路中均使用高纯钛作为隔离层材料。在数据储存、太阳能光伏电池、平面显示等其他高端微电子领域以及医药合金领域也有一定的应用。
随着中国大规模集成电路工业的迅速发展，国内对于高纯度钛的需求也在与日俱增，据悉，2014年市场需求达3000吨。然而，全球高纯钛（5n）规模化生产技术仅有日本和美国两家公司掌握，全球市场被上述两家公司垄断。这两家公司分别采用克劳尔法和熔盐电解法，克劳尔法是海绵钛的主要生产方法，生产高纯钛时需要更高纯的tic14和mg，成本高，
且还原蒸馏时污染严重，尤其是重金属元素污染；熔盐电解法采用电化学原理制取纯钛，生产成本高。中国所有的大规模集成电路厂商都使用国外进口的高纯钛产品。目前我国生产的海绵钛最高纯度为99.8%。
江苏省金坛市六九钛业科技有限公司在发展初期就制定了以研制面向高端信息产品应用的高纯电子化学品——高纯钛为主导，公司依托郭蔚及其研发团队，首次采用ticl4熔盐电解工艺实现规模化生产，突破了熔盐电解法规模化生产及核心装备技术瓶颈，5n高纯钛工业化转化效率大幅提高，转化率达90%以上，降低了规模化生产成本。公司已实现单炉月产100公斤级生产能力的5n高纯钛产业化，指标达到并有部分超过国际同类产品,该项目的产业化帮助国内集成电路产业改变严重依赖国外的被动局面。公司自主开发出了具有世界领先和自主知识产权的工艺及装备技术，实现设备国产化（价格仅进口设备的1/5），降低制造成本30%，迫使同类进口产品降价，提高了中国高纯钛产品国际竞争力。公司已形成超高纯钛的生产和研发基地。该项目的研制成功，填补了中国高纯钛生产的空白，在解决与日俱增的内需同时，还可出口创汇，打破美国和日本在该产品市场的垄断地位。
同时，六九钛业公司完成电子束熔炼设备国产化设计，高纯钛钛锭成型，降低易挥发元素和气体元素含量，为6n以上高纯钛产品奠定技术基础。公司已开展6n高纯钛工业化技术的实验室控制和中试线研究，奠定工业化技术基础，赶超国际水平。并可推广应用到高纯锆、铪等超高纯材料的提纯制备技术中。