太阳能电池专用等离子体刻蚀机
太阳能电池生产设备主要设备
扩散系统
用途:
设备应用于大规模集成电路、分立器件、
光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域，适用2" ～8" 硅片退火、氧化、扩散、预沉积等工艺。
主要技术指标
1. 可配加工硅片尺寸：3" ～8"
2. 工作温度范围：400～1300℃
3. 恒温区长度及精度：600～
1250℃ 800mm/±0.5℃
4. 单点温度稳定性：600～
1250℃ ±1℃/6h
5. 最大可控升温速度：15℃/min
6. 最大降温速度：5℃/min
7. 自动送舟
太阳能电池专用等离
子体刻蚀机
用途:
等离子体刻蚀机是采用高频辉
光放电手段，使气体离解成活性原
子和自由基，与被反应物进行反
应，生成挥发性反应物，达到刻蚀
目的。M42200-3/WJ等离子体刻蚀
机主要用于太阳能电池的周边掺
杂硅的刻蚀。具有占地面积小﹑装
片容量大﹑生产效率高等到优点。
同时还具有手动/自动功，除装卸
片手动操作外其余过程实现了全
自动，保证了工艺的
准确性和重复性，大大提高了产品
质量。
主要技术指标
1．刻蚀介质 ： 掺杂硅 氮化硅 多晶硅
2．刻蚀部位 ： 晶片周边
3．硅片尺寸： Φ210mm 圆片或156×156mm 方片
4．生产量： >300片/批
5．射频功率： 13.56MHz 100～1000W 可调
6．气路系统 ： 五路路浮子流量计或二路质量流量计＋三路浮子流量计
7．抽气系统： 机械泵＋节流阀
8．刻蚀周期： ＜25分/批
9．控制方式： 手动/自动
10．整机功率： 2.5KW
太阳能电池链式烧结炉
用途：
主要用于太阳能电池片的键合烧结，也可用于其它贴片元件的烧结。 主要技术指标：
1． 最高温度：1000℃
2． 工作温度：150℃—950℃
3． 控温精度：±3℃/2h（采用日本温控仪）
4． 网带宽度：380mm （可根据用户要求改变）
5． 炉膛有效高度：10mm （可根据用户要求改变）
6． 加热段数：9段（可根据用户要求改变）
7． 出口冷却方式：水冷+风冷、风量可调
8． 网带速度：1000—5000mm/min 连续可调
9． 加热功率：＜100Kw
10. 加热方式：近红外灯管加热
11. 护功能：有超温、断偶、报警和保护功能
12. 温度曲线：按委托方提供的曲线调试
13. 网带速度稳定性：优于3%
14. 每各温区一路气体，进、出口各一路气体
15. 计算机控制
APCVD(常压CVD)
用途:
主要技术指标
1. 有效成膜宽度：300mm
2. 加热区数量：3个
3. 加热区长度:2000mm
3最高加热温度区：700℃
4. 温区控制精度：±2℃,
5. 送气路数：5路浮子流量计控制（三路恒温源瓶）
6. 加热方式：红外加热器加热
7. 网带速度：700—1500mm/min 连续可调
8. 成膜均匀性：±5%
快速扩散炉
用途:
该设备主要用于硅片的快速扩散和晶片的快速退火.
主要技术指标:
1. 最高温度:1150℃
2. 工作温度:500---1100℃
3. 升温速度:50℃/S
4. 炉膛尺寸:170mmχ35mm χ550mm
5. 加热功率:20KW
6. 送气路数:三路
7. 保护功能:有超温, 断偶保护功能
链式烘干炉
用途:
主要用于太阳能电池和厚膜电路丝网印刷后的烘干
主要技术指标:
1. 最高温度：300℃
2. 工作温度：100℃—250℃
3．控温精度：±3℃/2h
4．网带宽度：600mm
5．炉膛有效高度：30mm
6．加热段数：3段
7．出口冷却方式：风冷、风量可调
8．网带速度：200—1500mm/min 连续可调
9．加热功率：＜15Kw
10．加热方式：近红外灯管加热
11．总长度：5000mm
12．炉体长度：3000mm
13．控制方式：手动、自动、具有自动开、关机功能
等离子体粉末纯化系统
用途:该设备主要用于硅体粉末材料等离子提纯和粉体材料的改性.
主要技术指标
1. 反应室有效工作尺寸：Φ80×260mm
2. 机械泵抽速：80l/s
3.极限真空：10Pa
4.工作真空：30Pa ～100Pa 连续可调
5.真空系统：机械泵＋电磁阀＋节流阀＋过
滤器
6.送气路数：二路
7.送气系统：针阀＋浮子流量计＋电磁阀＋
源瓶＋电磁阀
8.送料装置：电动螺旋送料，电机速度可调。
9.真空测量：复式真空计
10. 电源：13.56MHz 1000W 或DC2000W
11.放电较均匀